潔凈室是污染控制的基礎(chǔ)，是空氣過濾、分配、優(yōu)化、建筑材料、設(shè)備的房間。在潔凈室極高的硅片制造鏈中，必須是一個沒有污染源的環(huán)境，一個超潔凈的車間，才能正常批量生產(chǎn)硅片零件。

　　

　　與國外相比，我國潔凈室的發(fā)展起步較晚。在過去的二十年里，隨著越來越多的外國公司在中國設(shè)立或合資企業(yè)，一些高科技企業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境提出了要求。為了增強(qiáng)競爭力，各行各業(yè)都開始追求潔凈室的質(zhì)量。

　　

　　正確合理的設(shè)計是保證潔凈室穩(wěn)定運行的前提。在實際使用中，不正確的維護(hù)和不規(guī)范的管理會降低潔凈室的空氣潔凈度，導(dǎo)致潔凈室指標(biāo)達(dá)不到要求。因此，正確、科學(xué)地維護(hù)和管理潔凈室至關(guān)重要，應(yīng)從各個方面加以完善。

　　

　　

　　經(jīng)檢測分析，潔凈室80%的微污染是由工作人員造成的。當(dāng)工作人員進(jìn)出潔凈室時，粉塵顯著增加，潔凈度立即惡化。因此，進(jìn)入潔凈室前，員工應(yīng)做好清潔、擦拭等防塵動作，企業(yè)也應(yīng)培訓(xùn)員工，制定相應(yīng)的章程和制度。

　　

　　

　　工作人員會帶入灰塵，所以所有的材料和設(shè)備也會影響潔凈室的清潔。當(dāng)物流和設(shè)備進(jìn)入時，不要將任何顆粒或微生物帶入房間。工作人員應(yīng)在潔凈室穿干凈的衣服，用無塵紙擦拭材料和設(shè)備。運輸時，應(yīng)在地板上鋪設(shè)干凈的不銹鋼板，以防損壞地板。

　　

　　

　　對于潔凈室的各種設(shè)備，進(jìn)入無塵室后，應(yīng)經(jīng)常清洗消毒，并定期檢查，防止無塵室中灰塵顆粒和微生物的產(chǎn)生、繁殖和滯留。

　　

　　

　　潔凈室除了防止灰塵進(jìn)入外，還應(yīng)配備凈化空調(diào)系統(tǒng)、水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備等各種設(shè)備設(shè)施，確保潔凈室空氣潔凈度等級的使用符合產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在系統(tǒng)的正常運行中，維護(hù)也至關(guān)重要。比如空氣過濾器是否正常暢通，密封墊是否牢固，鼓風(fēng)機(jī)軸承是否正常運轉(zhuǎn)。每一項都影響系統(tǒng)的運行，所以不能省略。

　　

　　現(xiàn)在為了滿足各行業(yè)的需求，大部分潔凈室都會選擇“量身定做”。應(yīng)盡可能建立完善的制度，防止后續(xù)問題影響潔凈室的使用，浪費時間和金錢。很多缺乏這方面重要性意識的企業(yè)，最后都后悔了，但為時已晚。